ウエハー技術 | NEC SCHOTT コンポーネンツ株式会社

コンセプト

SCHOTT Electronic Packaging はお客様の注文に応じてウエハ−両面にさまざまな深さのスルーホール、ブラインドホール、キャビティ、チャネルを設けた極薄ウエハ−の製造を専門としています。ウエハ−は、多様な特殊グラスの使用が可能なフローティング法またはダウンドローイング法で製造され、切断・研磨後、クリーンルーム条件下で構造化され、サンドブラストまたは超音波ドリルにより、お客様指定の微細構造になります。そして、その後にクラス１，０００クリーンルーム条件下で洗浄、包装されます。

この技術の長所

ポリマーと比較すると、ガラスは親水性で、堅牢で、薬品耐性があり、耐熱性に優れています。
シリコンと比較すると、ガラスは低コストで、シリコン並みの最適なCTE を持ち、絶縁特性や光学特性にも優れています。
SCHOTT はAF45 ®、D263®、BF33®、B270®、AF371®などの標準ガラスのほか、お客様からのご要望があれば、その他のタイプのガラスも幅広く提供しております。
微細構造ウェハ−はクリーンルーム条件（ISO カテゴリー7クリーンルームクラス10,000; 米連邦規格209E; DIN EN 150 14644-1）下で製造され、クリーンルーム条件クラス1,000下で包装されています。

アプリケーション

SCHOTTは、さまざまなタイプのガラスから、以下のようなアプリケーションに使用する微細構造化ウェハ−を製造しています。

医療分析、薬物検査、工業モニタリング、インクジェット印刷用のマイクロ流体デバイス

微小電気機械システム(MEMS)

有機発光ダイオード(OLED)

お客様固有アプリケーション